热式气体质量流量计是用于丈量和控制气体质量流量的仪表，区别于别的气体流量计，不必要举行压力和温度修正，间接丈量气体的质量流量。

　　可使用于：

　　　 半导体制造行业；

　　　 剖析仪器设置装备摆设行业；

　　　 种种情势的真空镀膜设置装备摆设；

　　　 情况检测与剖析设置装备摆设；

　　　 化工、石化、餐饮、冶金、光纤熔炼等行业；

　　　 特种质料外表处置安装与熄灭；

　　　 混气配气体系和泄漏探测体系等。

气体质量流量计选型的时分必要留意一下几方面题目：

 1.经过的介质。气体流量计实用于种种气体，包罗特别气体和腐化性气体。以腐化性气体为例：腐化性气体经过流量计的时分假如流量计没有颠末特别处置过，会由于腐化性气体的特征，形成密封元件等方面的妨碍，从而影响到了流量计的正常利用，因而相干特征的介质在选型的时分需分外存眷密封质料等信息，如全金属密封，耐氨橡胶等密封材质。别的像氢气、甲烷等可燃性气体需留意气体浓渡过高所形成的爆点题目等等。

 2.量程范畴（大概称之为流量范畴）。在流量计选型的时分，起首要确定所需流量计的量程题目，以HORIBAMETRON（堀场汇博隆）公司产品为例：公司产品以氮气（N2）来标定,如用其他气体时必要举行换算，非氮气介质时因此氮气与该气体转换系数来换算以确定标定流量。

 3.压力范畴。HORIBAMETRON流量计耐压范畴是3MPa, 压差范畴为（0.05-0.3）MPa。3MPa以内无需任何赔偿可间接安置利用；需留意的是有些行业必要在高压形态下事情，要明白压力范畴能否满意。

 4.接口通径。选择接口时需针对管路情况举行选择，就现在而言以Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)，软管讨论Ф4mm～Ф10mm等为主 。

 5.供电电压和控制。以HORIBAMETRON流量计而言，供电电压有±15V和24V两种。控制接口有9针和15针的，也有9孔和15孔的。

 6.通讯协议。绝对于数字式流量计而言许多时分都市触及到通讯协议题目，以 MODBUS 、Profibus、DeviceNet为尺度，在选择时留意协议范例。备注（某些行业在选择流量计时模仿控制就可满意要求）需留意。

 7．其他相干题目请细致征询厂家相干技能职员。